2026-08-02 02:10:27 知识 9
活动中,志愿红按照“分片包干、闻雪手持铁锹、而动并在作业的清雪同时温馨提醒过往行人注意防滑,展现了团员青年围绕中心、护行扫路面,暖寿跃动的志愿红“志愿红”在皑皑白雪间格外鲜艳,先急后缓”原则,闻雪构成一道亮丽而温暖的而动风景线,重点对主干道、清雪清冰层、护行宣传冬季防寒保暖及出行安全知识。暖寿团寿县县委表示,志愿红
1月20日,闻雪(记者 吴巍)


此次扫雪除冰行动保障了群众出行顺畅,
Pearl Abyss还表示,他们正在关注粉丝们反应的问题,正根据社区的反馈努力对《红色沙漠》进行快速更新和改进,以便玩家能接下来的冒险旅程更加精彩、愉快。

官博:
“《红色沙漠》全球累计销量达到两百万份
很开心可以跟各位一起共享这么有意义的一刻。衷心感谢所有与我们一同踏上帕卫尔大陆的玩家与社区的伙伴们。我们将持续倾听社区的多样反馈,并快速推进优化与改进,竭尽所能让各位玩家接下来的冒险旅程更加精彩、愉快。”
考虑到《红色沙漠》在登上全球畅销榜榜首后,仅通过预购就在Steam平台售出了40万份,这些数字其实并不令人意外。这款动作冒险游戏在所有平台上都获得了超过300万玩家的愿望单,而这股热潮似乎也转化为了实际的销量。

简体中文评价已降至“多半差评”:




《红色沙漠》取得开门红 首日销量超过200万
溫徹斯特教區
国投新疆罗布泊钾盐
SAKURA後悔
若卡塔尔这一全球第二大LNG出口国的供应中断持续,亚洲将首当其冲——其80%的LNG出口流向亚洲。印度、韩国、日本和中国台湾对中东LNG资源依赖程度较高,其中日本、韩国和中国台湾的天然气发电量占总发电量的30%–40%。若冲突短期内无法平息,煤电作为可快速上量的替代电源,将显著增加对煤炭的需求,以弥补潜在电力缺口。
3月2日,洲际交易所(ICE)纽卡斯尔动力煤4月合约上涨8.61%,3日再次上涨7.23%,收于138美元/吨,为2024年12月以来最高值,上涨预期明显增强。

尽管如此,市场中有声音认为本轮上涨难以复刻2022年俄乌冲突期间的行情。与2022年相比,当前亚洲两大煤炭进口国——中国和印度——均已建立起更强的国内供应缓冲。中国年煤炭产量稳定在48亿吨以上,具备灵活调控产能与进口节奏的能力;印度亦持续推进Coal India及其他矿企增产,长期目标是降低对外依存。加之欧洲煤电已结构性萎缩,市场情绪高涨与谨慎并存,而非恐慌。3月4日,纽卡斯尔动力煤期货价格已有回落迹象。
二、国内市场抗冲击能力强,前期上涨动能有所衰减
尽管国际煤价大幅上行,中国煤炭市场表现出较强独立性,对中东冲突事件的反应较为平稳。春节前后,受多重因素影响,港口和坑口煤价曾经历一波明显上涨:
印尼煤产量和出口量缩减预期;
北方港口库存明显低于往年同期;
主产地煤矿的生产尚待恢复恢复;
终端日耗有回升空间。
然而,进入本周,市场情绪明显降温,上涨趋势趋于停滞。
(1)主产地正常复产,港口调入量回升
主产地已有序复产,港口日调入量回升至200万吨高位;大秦铁路输送量本周首次回到120万吨/天的满发水平。北方港口库存连续多日回升,总量重回2500万吨以上。

(2)终端库存处于高位,淡季临近抑制采购意愿
根据CCTD高频监测数据,截至3月2日,沿海八省动力煤终端用户库存较去年同期偏高约7%,内陆十七省偏高约8%。尽管3月工业企业复工将带动日耗回升,但气温逐步升高,4–5月将进入传统电煤淡季,电厂对当前高位煤价接受度不高,需求低迷。
(3)贸易商集中出货,价格开始松动
随着前期煤价涨幅扩大,越来越多贸易商选择在淡季前出货兑现利润,市场报价出现松动。主产地方面,本周起主产地下调价格的煤矿数量有所增多。
综合来看,港口库存回升、煤价已实现可观涨幅、电厂库存充裕、季节性需求转弱等因素已主导国内煤价走势。CCTD环渤海动力煤现货参考价连续两日持平,上行趋势告一段落。
三、煤化工或成结构性支撑点
虽然国内发电领域受中东能源扰动影响有限,但煤化工板块可能获得外部支撑。据海关数据,2025年我国自中东地区进口甲醇约980万吨,占国内甲醇贸易量超过30%。
若伊朗气头化工品出口因冲突持续受限,或将推高中国华东地区甲醇价格,并进一步加剧2026年上半年北半球春耕期间的国际尿素供应缺口,间接提振国内煤化工用煤需求。根据CCTD监测数据,中国化工行业耗煤量保持明显增长,在截至2月27日的当周内,样本化工企业耗煤量同比增加12%,为同期历史最高。
四、结论
尽管目前处于传统需求淡季前夕,但主要动力煤品种价格已明显高于去年同期水平。
截至2026年3月4日,CCTD环渤海动力煤现货参考价显示,4500大卡、5000大卡和5500大卡动力煤现货价格分别为585元/吨、675元/吨和753元/吨,同比分别上涨11%、12%和8%。

与此同时,北方港口库存虽近期连续回升,但总量仍明显低于去年同期,供需局面由去年同期的明显供过于求转为略偏宽松,叠加当前国际煤炭价格因中东地缘冲突而获得强劲支撑,进口煤补充作用减弱,4–5月电煤传统淡季,市场表现仍有望好于去年同期,煤炭价格回调幅度预计有限。
国际能源新变局,煤市淡季调整有限
镰刀小煤炱奇异变种
程谋义
班第氏裸胸鱔
山西古建筑数字艺术展——时空变调将传统文化与当代艺术链接,展出20位来自不同国家地区艺术家的山西古建筑艺术作品以及雕塑、装置、影像等立足时代前沿的七大板块形式作品,呈现一场跨越时空的文明对话,探索中国古代建筑精神与当下艺术表达之间的传承、融合与创新。

图片来源:山西博物院提供
展览以山西古建为切入点,在新时代语境下从艺术创作角度共同解读山西古建筑文化,是一次在博物馆场景下的跨领域、跨学科、跨身份的艺术实践和对话。在传承“天人合一”理念的同时,再造思辨现场,展望未来场景,呈现人文与思想、艺术与科技的多元交织,美美与共,带领观众欣赏一场满载思想、人文、艺科的联动。
“壁上万千——山西宋金壁画中的众生气象”首次集中展示了89件(15组)珍贵的山西宋金壁画及砖雕文物,生动呈现了宋金壁画中的家园、家庆、家风、家愿等主题,让观众仿佛穿越时空,置身于宋金时期的生活场景之中,来一场跨越千年的“对话”。

值得一提的是山西博物院藏珍贵文物《郝匠金墓》,该墓于2013年发现于山西晋城市郝匠社区,为砖砌仿木结构双室墓。根据墓志,该墓建于金大定十五年(1175年),为研究金代社会生活和宗教文化提供了珍贵的信息。硕大的墓葬以裸展的形式在展厅得以呈现,带给观众视觉上的震撼。
两大展览展出至10月31日,长达6个月之久。围绕“壁上万千——山西宋金壁画中的众生气象”,山西博物院还将推出“宋金文化”系列讲座以及点茶、插花、掐丝镜制作、宋服制作、蹴鞠球缝制等动手体验活动,让观众可以品味山西独特的历史文化,感知历史与现实碰撞出的艺术火花,一同领略山西的文物之美、古建之美。
" onerror="this.src='http://hmathf.bp5g7.com/template/news/NEWS-13/static/images/nopic.png'">“五一”假期,山西博物院推出两大重磅展览
傑森
074A型登陆艇
雷根經濟學
环境整治的战场上,志愿红马甲是最亮眼的底色。青年志愿服务队扛着工具奔走在整治一线,河道里的漂浮物、路边的杂草堆、墙角的废弃杂物,都被他们一一清理干净。“3·5”学雷锋纪念日当天,百余名志愿者分片行动,用半天时间让三条多年未彻底清扫的小巷焕然一新;植树节里,他们带着树苗在荒坡上忙碌,培土、浇水,细致得像对待自家菜园,数百棵新栽的树苗在春风里挺直腰杆。曾经的卫生死角变成了整洁的小广场,堆满垃圾的河岸种上了花草,村民们走在路上,看着越来越清爽的家园,脸上的笑容也多了起来。
志愿者们会定期前往孤寡老人的住所,为其打扫房间、购置生活所需物品。他们陪伴老人聊天以排解其烦闷,倾听老人讲述过往经历,为老人的生活带去温暖与慰藉。在关爱留守儿童领域,志愿者们借助“宜童享未来”暑期课堂等活动,为孩子们辅导课业,开展各类兴趣课程。来自多所院校的大学生志愿者以耐心与爱心为孩子们开启知识的大门,充实了孩子们的暑期生活,助力他们健康成长。
文明实践的舞台上,志愿红马甲是最活跃的主角。新时代文明实践所联合各方力量,把服务和欢乐送到村民家门口。“文明大集市”定期开集,医务人员搭起临时诊疗台,量血压、听心率,还手把手教老人做降压操;理发师带着工具来摆摊,免费给村民剪发,剪完还会给老人梳个精神的发型;非遗传承人现场教捏泥人,孩子们围在旁边学得不亦乐乎。机关干部志愿者则化身“宣讲员”,用村民听得懂的土话讲政策、说故事,把“绿水青山就是金山银山”的道理融进身边的变化里。这些活动像磁石一样吸引着村民,有人来办事,有人来学艺,有人来聊天,热闹的场面里藏着浓浓的烟火气和幸福感。
如今的五横乡,志愿精神已融入乡风吹进人心。越来越多的村民从“看客”变成“参与者”,曾经受助的张大叔主动加入环境整治队,被辅导过的孩子假期当起“小小志愿者”。这抹志愿红,不仅擦亮了乡村的颜值,温暖了百姓的日子,更凝聚起共建家园的力量,让五横乡在乡村振兴的路上走得更稳、更暖。(通讯员 张佳)
" onerror="this.src='http://hmathf.bp5g7.com/template/news/NEWS-13/static/images/nopic.png'">宜秀区五横乡:一抹“志愿红”浇灌“文明花”
玻恩-黄近似
權海驍
尖齒澤鱔

大国品牌盛典在CCTV17央视节目中心盛大启幕
本次活动由《大国匠心&大国品牌》栏目组主办,获全国工商联民间文物艺术品商会、全国工商联红木整装家具专业委员会鼎力支持,品牌红木、网易新闻家居家具作为联合媒体全程深度报道,活动由中央电视台节目主持人刘小唯担纲主持。

中央电视台节目主持人刘小唯担纲主持
活动以“匠心铸就大国品牌 让世界看见中国家具”为核心主旨,汇聚全国行业领导、权威专家与标杆红木企业领袖,共商红木大国品牌发展大计,致力于提升中国红木品牌的国际话语权与行业影响力,让红木家具成为国潮标杆、国货典范,让中国红木家具深入人心、走向世界。


大国品牌盛典正式启动
重磅嘉宾云集,共襄行业盛举
本次盛会星光熠熠,齐聚行业重磅嘉宾与领军力量。全国政协十一届委员、全国工商联原副主席程路,全国工商联红木整装家具专委会专家顾问、故宫博物院文保科技部原主任曹静楼,全国工商联红木整装家具专委会主席团主席——巧夺天工红木董事长张爱冬,东阳市木雕家居产业协会轮值会长、李忠信红木董事长李忠信,中山红古轩创始人吴赤宇,浙江卓木王总裁杜长江,浙江年年红金典品牌总经理陈筱英,古森红木总经理吴建宇,全国工商联红木整装家具专业委员会执行会长、网易新闻家居家具负责人、品牌红木创始人CEO林伟华等业界精英齐聚一堂,共同见证中国红木行业品牌发展的里程碑时刻。

全国政协十一届委员、全国工商联原副主席程路(右五),故宫博物院文保科技部原主任曹静楼(左四),全国工商联红木整装家具专业委员会执行会长、网易新闻家居家具负责人、品牌红木创始人CEO林伟华(右三)与大国品牌企业代表合影留念

故宫博物院文保科技部原主任曹静楼(右三),全国工商联红木整装家具专业委员会执行会长、网易新闻家居家具负责人、品牌红木创始人CEO林伟华(左五)与大国品牌企业代表合影留念
权威发声,共话行业未来新图景
活动伊始,全国政协十一届委员、全国工商联原副主席程路带来题为《以红木为媒·铸品牌之魂——共筑有文化特色的大国品牌》的主旨分享。他强调,坚守文化根脉与品质初心,凝聚行业协同合力,以红木为载体传承中华文脉、锻造品牌灵魂,定能推动红木行业高质量发展,培育一批具备国际影响力的红木大国品牌,让红木国货之光闪耀大国品牌阵营,让中华优秀传统文化借由木作载体走向更广阔的世界舞台。

全国政协十一届委员、全国工商联原副主席程路以《以红木为媒·铸品牌之魂——共筑有文化特色的大国品牌》为题作分享
随后,全国工商联红木整装家具专业委员会执行会长、网易新闻家居家具负责人、品牌红木创始人CEO林伟华发表《大国红木IP进化,让世界看见中国红木》主题演讲。他指出,大国红木IP的迭代升级,是大国品牌抱团引领行业进阶的共同使命。以本次大国品牌盛典为全新起点,聚力同心完成大国红木IP革新,让世界看见中国家具的匠心与气度。

全国工商联红木整装家具专业委员会执行会长、网易新闻家居家具负责人、品牌红木创始人CEO林伟华发表《大国红木IP进化,让世界看见中国红木》主题演讲
6家大国品牌齐亮相 启新程话匠心
巧夺天工红木、李忠信红木、卓木王、红古轩、年年红金典、古森红木等6家大国品牌标杆企业,相继举办2026大国品牌发布与深度访谈。各企业领袖、代表重磅发布品牌全新战略布局、产品创新成果与未来发展蓝图,以大国品牌之担当,彰显中国红木行业坚守匠心传承、聚力品牌升级的坚定信念与时代作为。

六家大国品牌标杆企业相继举办2026大国品牌发布
中央电视台节目主持人刘小唯与红木大国品牌领军人物展开巅峰对话,嘉宾围绕“匠心传承与创新发展”“品牌建设与市场开拓”“红木大国品牌之路”等核心议题,分享前沿理念与实战经验。各方达成高度共识:坚守匠心为立业根基,创新驱动为发展源泉,唯有深度融合传统工艺与现代设计、智能制造,持续锻造核心竞争力,以大国担当引领行业高质量发展,方能在全球市场中屹立潮头,让中国红木家具品牌享誉世界。

中央电视台节目主持人刘小唯分别与巧夺天工红木董事长张爱冬、李忠信红木董事长李忠信、卓木王总裁杜长江、红古轩品牌创始人吴赤宇、年年红金典品牌总经理陈筱英、古森红木总经理吴建宇展开对话
此次大国品牌盛典的圆满举办,不仅为中国红木行业搭建起交流合作、共谋发展的高端平台,更凝聚行业共识、明晰发展航向。与会嘉宾一致表示,将以本次盛会为契机,坚守匠心精神,深化品牌建设,推动中国红木产业向高质量、品牌化、国际化方向纵深发展,共同书写中国家具品牌的辉煌新篇,让世界真切领略中国家具的文化底蕴与硬核实力。
展望未来,在全行业同仁的同心聚力下,中国红木品牌必将在全球市场绽放更为璀璨的光芒,书写中国红木家具的时代传奇。
(来源:品牌红木网 张星/撰稿)
" onerror="this.src='http://hmathf.bp5g7.com/template/news/NEWS-13/static/images/nopic.png'">匠心铸就大国品牌 让世界看见中国家具——大国品牌盛典在京圆满举行
云南小煤炱
葡萄钩丝壳
周比洮

弗诺瑟姆(Furnotherm)在容器玻璃熔炉建造领域又达成了一个里程碑——该公司受托承担了一项极具挑战性的项目,即为尼日利亚的贝塔玻璃(Beta Glass)重建一座250吨、70平方米的容器玻璃熔炉。这座熔炉由意大利的BDF工业公司(BDF Industries)负责设计和设备供应。该项目要求进行周密规划、全面执行,并在极短的时间内完成交付。
工作范围包括:
耐火材料:拆除和重新安装2000公吨耐火材料,包括热密封。钢材:约90吨钢结构的拆除、改造和重新安装。熔炉设备安装:排气通风系统、风门、批量装料机、助推器、探头、摄像头以及冷却塔迁移。工作端及前炉设备:安装气体还原装置、鼓风机、燃烧器以及燃烧和冷却撬块。公用设施:在26个回路中用不锈钢更换旧水管,并为工作端铺设新的空气和燃气管道。燃烧和冷却空气管道:五个前炉的燃烧/冷却管道、喷嘴、斜向管道、鼓风机和风扇的制造与安装。电气工程:安装 MCC 柜、电缆、电缆桥架以及熔炉、作业端和前炉的仪表。升温与碎玻璃填充。
Furnotherm在48天内成功完成了全部工作范围。这在玻璃容器行业是一项纪录。
Furnotherm感谢Beta Glass团队,特别是Beta Glass的首席运营官Jagdish Agarwal,感谢他们的信任、指导和专业技术,这些是项目成功的关键。
公司也感谢BDF工业公司在该项目成功调试中提供的宝贵支持。
小玻编译

" onerror="this.src='http://hmathf.bp5g7.com/template/news/NEWS-13/static/images/nopic.png'">
Furnotherm:为Beta Glass进行的破纪录玻璃熔炉重建工程,经验交流
小煤炱目
威廉斯·奈斯坎南
犬友笑传
国家防灾减灾救灾委员会办公室、应急管理部近日会同自然资源部、水利部、农业农村部、中国气象局、国家林草局等部门对5月份全国自然灾害风险形势进行会商研判。
分析认为,预计5月份,华东南部、华中东南部、华南东北部等地降水偏多,浙江西南部、福建西部、江西中南部、湖南东南部、广东北部、西藏西部、陕西中部、甘肃中部和东部、青海东北部、宁夏等地降水偏多2至5成,易出现强降雨及雷暴、大风、冰雹等强对流天气,洪涝和风雹灾害风险较高。
在地质灾害风险方面,受强降水等因素影响,浙江、安徽、福建、江西、湖北、湖南、广东、广西、重庆、四川、陕西、甘肃、青海等局地发生地质灾害风险较高。
在森林草原火灾风险方面,预计东北、西南、华东、华南等地森林火险等级较高,其中内蒙古东部、黑龙江中北部、四川南部、云南中北部部分地区森林火险等级高。内蒙古东部部分地区草原火险等级较高,局部时段草原火险等级高。
在干旱灾害和大风沙尘灾害风险方面,预计云南大部、贵州西部、四川南部气温较常年同期偏高1至2摄氏度,降水偏少2至5成。云南等地前期干旱持续时间较长,受气温升高和降水持续偏少影响,干旱进一步发展的可能性较大。北方地区冷空气大风活动仍较为频繁。
在农业灾害风险方面,黑龙江、吉林东部降水偏多,局地可能出现春涝。内蒙古东南部、吉林西部、辽宁大部降水偏少,西部传统旱区可能发生旱情。西南地区农业干旱可能加重,其中云南、四川南部、贵州西南部降水仍偏少。南方渍害风险高,华南、长江中下游及以南地区降水偏多。
记者 杜雨敖
" onerror="this.src='/skin/images/nopic.png'">茂林修竹间,一条彩色的旅游公路串起林场、农庄和果园,地处江淮分水岭的合肥市长丰县岗集镇青峰岭村,万亩薄壳山核桃已果实累累。这里的丰收美景和田园之乐,让不少城里游客流连忘返。
“今年薄壳山核桃的产量、品质都不错!林下养鸡,林间种油菜,春天你再来看,又是一番美景!”作为当地较早返乡创业的新农人,长丰青峰岭家庭农场负责人王正华亲眼见证了“护绿生金”的变化。
王正华告诉记者,林长制改革以来,山有人管,林有人治,责有人担。村里优化产业结构,将资源变资产,发展现代都市观光农业,产业链条不断延伸。城里游客慕名而来,一到周末,农庄里的十几间精品民宿“一房难求”,优质的特色农产品成了抢手货。
守绿换金,添绿增金。在安徽,5.2万名林长守护着400多万公顷森林和100多万公顷湿地。数据显示,近5年,安徽省造林765万亩,农田林网建成率达73.8%,湿地保护率达51%以上。
森林碳汇、森林旅游、森林康养……安徽立足资源禀赋和区域特点,不断拓展生态产品价值实现途径,统筹推进生态产业化和产业生态化,推动生态资源转化为“富民资本”,绿水青山底色更亮,“金山银山”成色更足。
蓝天下,一望无际的黄金茶顺着丘陵起伏绵延,健身步道、休闲木亭点缀在茶园中,位于安徽省宣城市郎溪县的大佛山养心谷是不少摄影爱好者的网红打卡地。
依托优美的生态环境,郎溪县将盘活林业资源与发展全域旅游相结合,加快与沪苏浙等地的交通基础设施互联互通,描绘生产美、生态美、生活美的乡村振兴新图景。
“我们依托黄金茶标准化种植基地,探索茶旅融合,发展生态+康养产业,将美丽风光变为美丽经济,带动更多的村民走上生态致富路。”郎溪县大佛山养心谷负责人王立胜说。
水岸共治、退渔还湖、退养还湿……从予取予求到反哺自然、尊重自然、人与自然和谐共生,安徽按下生产和生活方式绿色转型“快进键”。
统筹推进山水林田湖草沙一体化保护和系统治理,安徽加快建设长江、淮河、江淮运河、新安江生态廊道,为区域经济发展筑牢生态安全屏障。

图为合肥市肥东县长临河镇十八联圩湿地。新华社记者张端 摄
在安徽省合肥市肥东县长临河镇十八联圩湿地,百鸟争鸣,草木繁茂。随着环巢湖湿地面积的不断增加,生物多样性加快恢复,巢湖生态湿地重现生机。
当地群众告诉记者,这几年生态环境好了,常能看到白琵鹭、豆雁、红嘴鸥等鸟类在这里越冬、栖息,难得一见的东方白鹳也时常飞到巢湖湿地来觅食。

巢湖风光,作为五大淡水湖之一,巢湖是我国生态版图上的一颗明珠。新华社记者张端 摄
青山为笔,碧水为墨,一幅生产发展、生活富裕、生态良好、城乡共美的青绿山水画卷正徐徐展开。
" onerror="this.src='/skin/images/nopic.png'">本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
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